• ‘甚’ có bộ ‘甘’ có nghĩa là ngọt, chỉ ra điều gì đó dễ chịu hoặc tốt đẹp.
• ‘至’ nghĩa là tới, thường dùng để chỉ sự đạt đến một điểm nào đó.
• ‘于’ có bộ ‘二’, nghĩa như là một sự phối hợp hoặc liên kết giữa các đối tượng.

→ ‘甚至于’ thường dùng để nhấn mạnh mức độ hoặc phạm vi của một điều gì đó, có thể hiểu là ‘thậm chí’.